講演情報

[A1444-2am-09]層状ケイ酸塩被覆によるシリコン表面の反射防止効果の発現

中内 悠貴1、○岡田 友彦1 (1. 信州大学)
PDFダウンロードPDFダウンロード

キーワード:

層状ケイ酸塩,シリコン,反射防止効果,モスアイ構造,結晶成長