講演情報
[A1453-2am-10]Sbドーパントと金属ナノ粒子触媒を用いた環境変動に対して堅牢なSnO2ナノフィルムガスセンサ
○WANG XI1、本田 陽翔1、高橋 綱己1、Jirayupat Chaiyanut1,3、田中 航1、細見 拓郎1、Chen Chia-Hsiu3、入江 満3、柳田 剛1,2 (1. 東大院工、2. 九大総理工、3. MI-6㈱)
キーワード:
ガスセンサ,金属酸化物半導体,堅牢性,金属触媒,ドーピング
ガスセンサ,金属酸化物半導体,堅牢性,金属触媒,ドーピング