講演情報

[A1453-2am-10]Sbドーパントと金属ナノ粒子触媒を用いた環境変動に対して堅牢なSnO2ナノフィルムガスセンサ

○WANG XI1、本田 陽翔1、高橋 綱己1、Jirayupat Chaiyanut1,3、田中 航1、細見 拓郎1、Chen Chia-Hsiu3、入江 満3、柳田 剛1,2 (1. 東大院工、2. 九大総理工、3. MI-6㈱)
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キーワード:

ガスセンサ,金属酸化物半導体,堅牢性,金属触媒,ドーピング