講演情報

[A1453-2am-11]界面・構造制御によるナノセルロース水晶振動子湿度センサーの高感度化

○曾 静1、田中 航1、細見 拓郎1、高橋 綱己1、劉 江洋1、柳田 剛1,2 (1. 東大院工、2. 九大総理工)
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キーワード:

高感度湿度センサー,セルロース,金属酸化物薄膜,接着層