講演情報

[A1455-3pm-01]MgSiSn系薄膜熱電材料のナノ構造化と熱電特性

○後藤 真宏1、佐々木 道子1,2 (1. 物材機構 、2. 東大)
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キーワード:

熱電材料,スパッタ,薄膜