2024年第71回応用物理学会春季学術講演会
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一般セッション(口頭講演)13 半導体：13.7 化合物及びパワーデバイス・プロセス技術・評価

[25p-52A-1~6]13.7 化合物及びパワーデバイス・プロセス技術・評価

2024年3月25日(月) 13:00 〜 14:30
52A (5号館)
加藤 正史(名工大)
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13:00 〜 13:15英語発表

[25p-52A-1]Ga2O3 (010) FinFETs with On-Axis (100) Gate Sidewalls

〇Zhenwei Wang1, Sandeep Kumar1, Takafumi Kamimura1, Hisashi Murakami2, Yoshinao Kumagai2, Masataka Higashiwaki1,3 (1.NICT, 2.Tokyo Univ. of Agriculture and Technology, 3.Osaka Metropolitan Univ.)
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13:15 〜 13:30

[25p-52A-2]β-(Al0.17Ga0.83)2O3電界効果トランジスタ(MESFET)の電気的特性評価

〇(M1C)森田 燎1、Fenda Florena Fenfen1、Jia Yun1、Traore Aboulaye2,3、奥村 宏典2、櫻井 岳暁2 (1.筑波大院数物、2.筑波大数理、3.J-FAST)
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13:30 〜 13:45

[25p-52A-3]1.36 A, 1 kV耐圧 β-Ga2O3 double-implanted MOSトランジスタ

〇宮本 広信1、小石川 結樹1、脇本 大樹1、佐々木 公平1、倉又 朗人1 (1.ノベルクリスタルテクノロジー)
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13:45 〜 14:00

[25p-52A-4]SiO2との界面付近のβ-Ga2O3 中に酸素欠損が残存する原因の考察

〇片桐 浩生1、女屋 崇1、喜多 浩之1 (1.東大院新領域)
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14:00 〜 14:15

[25p-52A-5]ミニマル液体ドーパント・プロセスを用いたMOSFETのシート抵抗の面内均一化

〇中道 修平1、本郷 仁啓1、田中 宏幸2、居村 史人1,3、原 史朗1,2,3 (1.ミニマルファブ、2.産総研、3.（株）Hundred Semiconductors)
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14:15 〜 14:30

[25p-52A-6]放熱が容易なLED光反射型ダイスター

岡本 賢一郎1、〇岡本 研正1、森下 和功1 (1.京大エネルギー研)
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