[14a-K201-1~7] 8.3 プラズマナノテクノロジー

9:00 〜 9:15

[14a-K201-1] h-BN成膜用アンモニアボラン含有Arプラズマの質量分析

〇北嶋 武¹、川崎 零士¹、中野 俊樹¹ (1.防大電気)

キーワード：

プラズマ、2次元結晶、絶縁膜

2次元エレクトロニクスの分野で重要な絶縁材料であるh-BNを高速合成するために、比較的扱いやすいBN源としてアンモニアボランが用いられる。高速成膜を目的とした際にはアンモニアボランプラズマが注目され、プラズマ中の活性種の分析が必要である。ここではArプラズマを照射したアンモニアボラン粉末から生じる活性種を質量分析した。