2025年第72回応用物理学会春季学術講演会
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一般セッション(口頭講演)8 プラズマエレクトロニクス：8.3 プラズマナノテクノロジー

[14a-K201-1~7]8.3 プラズマナノテクノロジー

2025年3月14日(金) 9:00 〜 10:45
K201 (講義棟)
9:00 〜 9:15

[14a-K201-1]h-BN成膜用アンモニアボラン含有Arプラズマの質量分析

〇北嶋 武1、川崎 零士1、中野 俊樹1 (1.防大電気)
9:15 〜 9:30

[14a-K201-2]多層カーボンナノチューブのイソシアネート基修飾のためのプラズマ生成時におけるプラズマ中の電子密度と気相中の粒子の関係

〇(M1)渡邊 翔斗1、中村 圭二1、小川 大輔1 (1.中部大工)
9:30 〜 9:45

[14a-K201-3]マイクロ流路プレート内の気液界面プラズマ生成

〇吉木 宏之1、遠田 明広2 (1.仙台高専、2.鶴岡高専)
9:45 〜 10:00

[14a-K201-4]アルゴンガスを添加した回転電極型誘電体バリア放電による香煙中の微粒子の分解・除去に関する研究

〇(B)浦丸 大雅1、岩﨑 大直1、Yoon Myat Aung1、Yin New Nyein1、畑 光彦1、田中 康規1、中野 裕介1、石島 達夫1 (1.金沢大理工)
10:00 〜 10:15奨励賞エントリー

[14a-K201-5]D最適計画に基づく初期学習データセットにより訓練された機械学習モデルを用いたプラズマエッチング条件最適化過程の解析

〇森崎 諒1、大森 健史1、森 靖英1、高野 直人2、朝倉 涼次2 (1.日立研開、2.日立ハイテク)
10:15 〜 10:30英語発表

[14a-K201-6]Ripple structure formation on GaAs using Ar plasma irradiation

〇(PC)Quan Shi1, Shin Kajita1, Noriyasu Ohno2 (1.Univ. Tokyo, 2.Nagoya Univ.)
10:30 〜 10:45奨励賞エントリー

[14a-K201-7]マイクロ波プラズマによる酸化ディスプロシウムの還元反応

〇吉田 英恵1、藤井 知1、高橋 有紀子2 (1.沖縄高専情報、2.物材研)
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