講演情報
[14a-K210-5]短波赤外イメージセンサに向けたMg2Si-PDリニアアレイの試作(II)
〇古田 良輔1、尾嶋 海人1、武井 日出人1、勝俣 響1、坂根 駿也1、鵜殿 治彦1 (1.茨城大工)
キーワード：
Mg2Si、SWIR、イメージセンサ
本研究では、汎用的なSWIRイメージセンサを目指し、Mg2Si基板を用いたPDリニアアレイの多画素化のための作製条件と微細化の問題点を検討し、物性を評価した。作製したデバイスは、I-V測定および分光感度測定を実施した結果、すべての電極で整流性が確認でき、従来の単一PDと同等の受光感度を確認した。より詳細な電気特性および光学特性評価結果と微細化の問題点については当日報告する。