[14a-K306-1~10] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

9:00 〜 9:15

[14a-K306-1] 炭化水素分子イオン注入エピタキシャルSiウェーハのpn接合ダイオード作製工程間の重金属ゲッタリング挙動

〇永友 翔¹、門野 武¹、廣瀬 諒¹、小林 弘治¹、佐々木 駿¹、栗田 一成¹ (1.株式会社　SUMCO)

キーワード：

ゲッタリング、分子イオン注入、pn接合