[14a-K401-1~9] 15.4 III-V族窒化物結晶

9:15 〜 9:30奨励賞エントリー

[14a-K401-2] 水素雰囲気異方性熱エッチング(HEATE)法によるGaNストライプ構造の発光特性

〇片岡 生一¹、菊池 昭彦^1,2 (1.上智大理工、2.上智大学半導体研究所)

キーワード：

GaN、歪緩和