[14a-K507-1~9] CS.5 6.5 表面物理・真空、7.5 原子・分子線およびビーム関連新技術のコードシェア

10:30 〜 10:45奨励賞エントリー

[14a-K507-6] Si(001)表面と界面の未結合手における協奏酸化反応

〇岡部 優希¹、津田 泰孝²、Wen Hengyu¹、吉越 章隆²、高桑 雄二^2,3、小川 修一¹ (1.日大生産工、2.原子力機構、3.東北大)

キーワード：

Si熱酸化、リアルタイムXPS、表面反応

本研究ではSi(001)表面酸化過程をXPSでリアルタイム観察し、ダイマーと空孔での酸化反応経路の競合過程を解明する。Loop Aではins/insとtri/ad、Loop Bではtri/triとtri/adのペアがO₂解離吸着で生じることが観察され、酸素吸着配向からもLoop AとLoop Bを識別できることが分かった。