[14a-P02-1~6] 7 ビーム応用（ポスター）

[14a-P02-1] 軟X線レーザー干渉顕微鏡用Schwarzschildミラーの開発

〇(B)藤澤 悠太¹、槫松 哲也¹、豊田 光紀¹、石野 雅彦² (1.東京工芸大工学部、2.量研関西研)

キーワード：

Mo/Si多層膜ミラー、周期長分布制御、極紫外線　（EUV）