講演情報
[14a-P02-5]UVC照射によるネガ型電子ビームレジストの感度特性の改善
〇田村 茂雄1、宮本 恭幸1,2 (1.東京科学大未来研、2.東京科学大)
キーワード：
電子ビーム露光、ネガ型レジスト、UVC
微細加工に用いる電子ビーム露光は、ビーム径を数ナノメートルまで集束させるために高い加速電圧を必要とする。しかし、加速電圧とレジスト感度は相反する。感度特性を改善するために、ネガ型レジストに加速電圧100kVの電子ビーム露光後に波長255nmのUVCを照射したところ、解像に必要な露光量が減少し、γ値が向上したので報告する。