[14p-K205-1~10] ナノテクノロジーを駆使したバイオセンサーと２次元材料の最前線 -ヒト感染性ウイルスを迅速に検出可能な グラフェンFETセンサーによるパンデミックのない社会の実現 -

16:15 〜 16:30

[14p-K205-8] グラフェンFETアレイのラマン顕微鏡による評価

〇牛場 翔太¹、中野 友美¹、德田 優果¹、谷 晋輔¹、木村 雅彦¹、松本 和彦² (1.株式会社村田製作所、2.阪大産研)

キーワード：

グラフェン、ラマン分光、電界効果トランジスタ (FET)

グラフェン合成技術の発展により, グラフェン電界効果トランジスタ（GFET）アレイの作製が可能となった。しかし, アレイ全体で電気特性はバラついており, 商業化の大きな課題となっている。本研究では, ラマン顕微鏡を用いたGFETアレイの検査技術を提案する。電気測定を行う前に, アレイ内の全てのGFETのラマンイメージを撮像した。Gバンドおよび2Dバンドのピーク位置から, GFET内のホールキャリア密度 (n_H) を算出した。n_Hは, 溶液下で測定したV_DPと相関した。さらに, GFETのラマンピークを作製プロセス毎に追跡した結果, 面内バラツキがwet転写プロセス中に発生していることが明らかとなった。