講演情報
[14p-K207-4]自律的合成条件探索に向けたカーボンナノチューブの連続ドライ印刷
藤原 隆二1、丸山 茂夫1、〇大塚 慶吾1 (1.東大工)
キーワード:
カーボンナノチューブ、浮遊触媒気相成長、印刷
次世代半導体材料の一つであるカーボンナノチューブは、用途に応じて合成量や集合体の形態、半導体割合などに対して異なるレベルで要求が課せられるが、通常それらはトレードオフの関係にある。この要求に応えるには、成長機構の理解と両輪を成す形で、合成条件の網羅的探索が重要でなる。本発表では、ナノチューブの浮遊触媒成長法を軸に、合成条件の自律的な探索に向けた自動合成装置および連続ドライ印刷技術について報告する。