[14p-K210-1~9] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

14:00 〜 14:15

[14p-K210-3] 機械学習モデルを活用したBaSi₂真空蒸着とMgOバリア層の有効性

中西 隆陽¹、上田 龍斗¹、山中 淳二¹、有元 圭介¹、〇原 康祐¹ (1.山梨大クリスタル研)

キーワード：

太陽電池材料、真空蒸着、機械学習

BaSi₂は高効率太陽電池材料だが、蒸着時の組成制御が課題である。本研究では、機械学習モデルで算出したプロセス条件を用い、MgOバリア層上にBaSi₂の単相成膜を実現した。成膜温度450–500 °CでのXRDおよびSEM解析により、MgOがバリア層として機能し、BaSi₂成膜の有効性を確認した。