[14p-K210-1~9] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

15:45 〜 16:00

[14p-K210-9] n-Ru₂Si₃/p-Siヘテロ接合素子における分光感度の光入射方向依存性

〇森本 耕平¹、寺井 慶和¹ (1.九工大情報工)

キーワード：

シリサイド半導体、分光感度、ルテニウムシリサイド