講演情報

[14p-K401-10]マイクロLEDディスプレイに向けたInGaN系多面体マイクロ構造からのフルカラー発光

〇小野 太暉1、松田 祥伸1、船戸 充1、川上 養一1 (1.京大院工)

キーワード:

窒化物半導体、マイクロ構造、多波長発光素子

マイクロLEDディスプレイに向けて,InGaN単一材料系を用い,一度の結晶成長プロセスでフルカラーマイクロ LED をモノリシック集積する研究が活発化している. 最近我々は,多面体状のGaNマイクロ構造を用いれば,各面の傾斜角度の制御を通じて異なる発光色のInGaN層を構造内に集積できることを報告した[1].しかし,この研究での集積色は,紫・青・緑色と可視短波長領域に限定されていた.本研究では,結晶成長条件の制御により,フルカラー成分を多面体マイクロ構造に集積することに成功したので,その成果を報告する.