講演情報
[14p-K402-3]深い準位の評価を目的とした過渡容量解析におけるベイズ推定の適用
〇(B)山中 孝太郎1、木本 恒暢1、金子 光顕1 (1.京大工)
キーワード：
欠陥評価、過渡容量解析、ベイズ推定
半導体における深い準位の評価には，DLTSなどの過渡容量解析が用いられてきた．しかし，過渡容量変化の時定数が近い準位の分離評価は難しく，高いSN比が求められる．そこで今回，低SN比・高時定数分解能の実現を目指し，過渡容量解析にベイズ推定を適用した．その結果，近時定数準位の分離評価に優れた手法として知られるLaplace DLTSと比較し，同じ時定数分解能を得るために必要なSN比が大幅に低減された．