[14p-K403-1~13] 6.2 カーボン系薄膜

15:45 〜 16:00

[14p-K403-10] SiO₂/Al₂O₃多層膜を用いたダイヤモンドMOS構造の形成(2)

中川 龍一¹、斎藤 泰地¹、松本 翼¹、徳田 規夫¹、〇川江 健¹ (1.金沢大自然研)

キーワード：

ダイヤモンド、MOS構造