[14p-K403-1~13] 6.2 カーボン系薄膜

13:15 〜 13:30

[14p-K403-2] 大口径(111)面ダイヤモンド自立結晶成長

〇金 聖祐¹、川又 友喜¹、長谷部 航平¹、佐田 晃¹、アン ジェフリ¹、小山 浩司¹、鈴木 真理子¹、毎田 修² (1.Orbray 株式会社、2.大阪大学)

キーワード：

ヘテロエピタキシャルダイヤモンド、N-Vセンター、(111)ダイヤモンド基板

オフ角度を有するサファイア基板を用い、大口径(111)面ダイヤモンド自立基板成長に成功した。当日に成長方法、結晶品質について報告する。