講演情報
[14p-K403-5]ダイヤモンドの化学気相堆積環境における気相中の固体粒子のレーザー光散乱による検出
〇新田 魁洲1、嶋岡 毅紘1、山田 英明1、坪内 信輝1、茶谷原 昭義1、杢野 由明1 (1.産総研)
キーワード：
ダイヤモンド、プラズマCVD、レーザー光散乱
デバイス応用を指向したダイヤモンド単結晶の作製において、化学気相堆積法(CVD)は不可欠である。CVDダイヤモンド特有の異常成長粒子や結晶欠陥等は、デバイス応用の致命的問題となっている。これらは種基板から伝搬する貫通転位の他、成長表面に付着した固体粒子にも起因すると考えられるが、気相中固体粒子の存在は未だ直接確認されていない。そこで、レーザー光散乱測定による気相中固体粒子の直接観察に取り組んだ。