講演情報
[14p-K403-8]HF-CVDによる熱窒化基板へのナノ結晶ダイヤモンド膜形成
〇塩川 蒼1、宮原 由紀1、滝川 浩史1、服部 貴大2、杉田 博昭2、儀間 弘樹2 (1.豊橋技科大、2.オーエスジー（株）)
キーワード：
ナノ結晶ダイヤモンド膜、熱フィラメントCVD法、熱窒化
CFRPの加工用としてWC-Co超硬合金母材の工具にNCD膜をコーティングしている。しかし，Coバインダの影響で膜の成長が不均一になる問題がある。我々はカーボンフィラメントが主要因と特定し、高温成膜によりこの問題が抑制されることが確認した。本研究では，熱フィラメントCVD法での高温NCD成膜に加えて，同装置でのガス窒化前処理を実施した。結果として，基板を窒化することでCo微粒子の発生を抑制できた。