[14p-K503-1~17] CS.3 6.1 強誘電体薄膜、13.3 絶縁膜技術、13.5 デバイス／配線／集積化技術のコードシェア

17:15 〜 17:30

[14p-K503-16] 物理リザバーコンピューティング応用に向けた強誘電体薄膜の出力分類特性の評価

〇井上 颯太¹、請関 優¹、藤村 紀文¹、Toprasertpong Kasidit²、高木 信一²、吉村 武¹ (1.阪公大工、2.東大工)

キーワード：

リザバーコンピューティング、HZO、強誘電体薄膜

物理リザバーコンピューティング(PRC)は高速で低消費電力な機械学習が可能であることから注目されている。PRCの演算を司るリザバー層には短期記憶性と非線形性を有する物理現象が用いられ、FeFETも有望なPRCデバイスである。学習性能向上には強誘電体のアナログ記憶の特性を詳細に理解することは重要であることから、本研究ではHf_0.5Zr_0.5O₂極薄膜を用いた金属/強誘電体/金属キャパシタにおいて3ビットデータに対する出力分類の評価を行った。