講演情報
[14p-K503-5]共添加HfO2系強誘電体YxNbxHf1-2xO2の強誘電特性
〇浅沼 周太郎1、右田 真司1、太田 裕之1、森田 行則1、畑山 祥吾1 (1.産総研 SFRC)
キーワード：
強誘電体、HfO2、共添加
HfO2系強誘電体は応用が期待されているが、電界印加に伴い酸素欠陥が移動しEndurance特性が劣化すると言う課題がある。そこで、我々は、Endurance特性の劣化しないHfO2系強誘電体薄膜の作製を目指し、価数の異なる複数の元素をHfO2に共添加することで全体の電荷平衡を保ったまま不均一な局所電場を導入した薄膜を成膜し強誘電性を評価する実験を行った。