講演情報
[14p-P01-3]ミストCVD法を用いたマイクロロッド型VOx結晶の作製
〇高山 大輝1、藤澤 浩訓1、中嶋 誠二1、大坂 藍1 (1.兵庫県立大院工)
キーワード：
バナジウム酸化物、ミストCVD
バナジウム酸化物(VOx)は，金属絶縁体相転移(MIT)によって電気的・光学的性質が劇的に変化するため，高感度センサ等への応用が期待されている．センサデバイスの高感度化のための表面積増大にはナノ・マイクロ立体構造の実現が重要であるが，VOxナノワイヤに関するボトムアップ型の研究報告は少ない．本研究では，ミストCVD法を用いてVOxマイクロロッド構造を作製し，そのマイクロ形状と結晶構造を調査した．