[14p-P01-1~26] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[14p-P01-4] ZnOをバッファ層とするガラス基板上VO₂スパッタ成膜における基板バイアスの影響

〇下野 慎平¹、若山 遼平²、廣野 太陽²、沖村 邦雄^1,2 (1.東海大院工、2.東海大工)

キーワード：

酸化亜鉛、二酸化バナジウム、スパッタリング