講演情報
[14p-P01-5]VO2/AZO/polyimide フレキシブル膜作製と電圧印加による赤外光スイッチングの性能評価
〇(M1)平鍋 頼1、于 鵬1、蘭 田2、沖村 邦雄1,2 (1.東海大院工、2.東海大工)
キーワード：
透明導電膜、二酸化バナジウム、スパッタリング
二酸化バナジウム(VO2)は約68ºCで絶縁体-金属転移(IMT)を起こし、抵抗値や光学特性が大きく変化する材料である。本研究では耐熱性と柔軟性に優れたポリイミド基板上に透明導電性を有するAlドープZnO(AZO)をバッファー層として用い、VO2薄膜を作製、電圧印加による光スイッチング特性を評価した。