[14p-P02-1~20] 6.4 薄膜新材料

[14p-P02-5] 金属有機化合物分解法(MOD法)によるHf_xZr_1-xO₂のゲート絶縁膜作製と構造評価

〇(BC)武本 凌河¹、高瀬 寛士¹、中澤 斗翔¹、北村 太慈^1,2、楯 凱貴^1,2、河野 裕太^1,2、小池 一歩^1,2、廣芝 伸哉^1,2 (1.大阪工大・工、2.大阪工大・ナノ材研)

キーワード：

強誘電体、誘電体