講演情報
[14p-P03-17]異なる酸素および窒素含有条件下におけるアモルファスSiO2中のカーボンクラスターの形成分解傾向の分子動力学解析
〇小川 京悟1、榊間 大輝1、宮崎 桜子1、泉 聡志1 (1.東大工)
キーワード：
カーボンクラスター、分子動力学、SiCパワーデバイス
SiCパワーデバイスの信頼性低下の原因となる欠陥としてSiC/SiO2界面におけるCクラスターが長年注目されているが，その形成分解過程は未だ明確ではない．本研究ではSiO2中でのCクラスターの生成，分解挙動の解明を目的に，分子動力学法を用いて様々な組成条件下におけるa-SiO2中のCクラスターの形成やその構造，Nの含有が形成挙動に与える効果について解析した．