講演情報
[14p-P07-16]走査型電子顕微鏡（SEM）を活用した高専低学年から半導体分野への興味を促すための実験実習プログラムの開発
〇田口 理沙子1、香取 重尊1 (1.津山工業高等専門学校)
キーワード：
半導体、走査型電子顕微鏡
高専における半導体教育の重要性が高まる中、本科1・3年生を対象に、走査型電子顕微鏡（SEM）の原理理解と観察技術習得を目指す実習を実施した。1年生では基本操作、3年生では試料選択や条件設定、元素分析を行った。段階的に基礎から応用まで一貫して学ぶプログラムにより、半導体分野への興味を喚起し、即戦力となる技術習得を図った。報告書やアンケートから高い満足度が得られ、プログラムの有効性が確認された。