講演情報
[14p-P07-17]マスクレスフォトリソグラフィを用いた理科教材の開発
〇羽渕 仁恵1、白木 英二1 (1.岐阜高専)
キーワード：
半導体教育、マスクレスフォトリソグラフィ
岐阜高専では、実践的な半導体教育を目的として、半導体前工程プロセスを学生が体験できるよう、マスクレス露光装置を導入し、フォトリソグラフィによる微細加工の実習を実施している。マスクレス露光装置は半導体デバイスの作製以外でも理科や物理教育としても利用できる。本発表では、マスクレス露光装置を用いた、①本校学生向けの実習用光学素子の作製と、②小中学生向け半導体教育教材（投影機）の開発について報告する。