講演情報
[14p-P07-18]pn接合形成におけるカッティングマシンを用いたマスク作製
〇(B)小林 奈和1、渡部 勝喜1、井戸川 槙之介1 (1.釧路高専)
キーワード：
pn接合、マスク作製、教材開発
半導体デバイスの製造には高いコストと安全性への問題があり，教育現場への導入には大きな課題がある．本研究では，カッティングマシンを用いてカプトンテープ製の精密なマスクを作製し，選択拡散工程に適用する手法を提案した．従来手法の手作業に比べて精度と均一性が向上し，集積度の向上が可能である．また、デバイスの評価から良好な整流特性を確認した．本手法を用いることで，低コストかつ安全にデバイス集積化が可能である．