講演情報
[14p-P07-32]MOD法による極薄フレキシブルガラスへのVO2薄膜成長と特性評価
〇(M1C)桑山 智大1、廣芝 伸哉1、小池 一歩1、和田 英男1、河原 正美2 (1.大工大ナノ材研センタ、2.高純度化学研)
キーワード：
有機金属分解法、二酸化バナジウム、スマートウィンドウ
極薄フレキシブルガラス基板上にMOD法でNb添加VO2薄膜を成膜し，赤外線サーモクロミックフィルムを試作した。ZrO2バッファ層を挿入することで，屈折率緩和による可視光透過率の改善を図った。また，Nb添加によって相転移温度の低温化を図った。試作したフィルムは，可視光透過率が55%以上、近赤外線調光率は45%以上，相転移温度45℃であった。このことから，今回試作したフィルムが実用レベルであることが示された。