講演情報
[14p-P07-47]タンタルアノード酸化皮膜欠陥が及ぼすコンデンサ電気特性への影響
〇笠村 裕也1,2、根北 翔2、吉岡 夏紀1、大隅 祥太1、大形 徳彦1、波多 聰3 (1.パナソニック インダストリー、2.九大院総理工、3.九大総理工)
キーワード：
陽極酸化タンタル酸化物(ATO)、四次元走査型透過電子顕微鏡(4D-STEM)、ナノプローブシステム
陽極酸化タンタル酸化物(ATO)は、バンドギャップ・比誘電率が大きく膜中へのエネルギー貯蔵効率が高く、電解コンデンサの誘電体層に利用されている。ATOはアモルファスが基本構造だが、特定条件下において結晶性ATOを形成し、コンデンサの電気特性を悪化させる一因となっている。本研究では、結晶性ATOの結晶分布がコンデンサの電気特性に与える影響について4D-STEMおよびナノプローブシステムにて評価した。