講演情報

[14p-P10-2]電位検出型 CMOS においセンサの作製と検出特性評価

〇代継 海斗1、加古 香里1、稲田 尚子1、崔 容俊1、高橋 一浩1、澤田 和明1、野田 俊彦1 (1.豊橋技科大)

キーワード:

においセンサ、CMOSセンサ、におい感応膜

本研究では、人間の嗅覚を模倣する新しいセンシングシステムの開発を目指し、電位検出型CMOSにおいセンサを作製し、その検出特性を評価した。256×256画素のセンサチップ上に30種類のにおい感応膜を成膜し、におい物質による電位変化をリアルタイムで記録した。ジュースやコーヒーなどを計測対象とし、異なるにおいに対して独自の応答パターンを確認した。今後、収集データを用いて機械学習モデルを構築することで、より高精度なにおい識別が可能になると期待できる。