講演情報
[15a-K205-2]量子ドットレーザ端面のALD被覆と評価
〇奈須 佑貴1、大坪 祐馬1、谷口 清人1、伊佐早 祐大1、板谷 太郎2、菅谷 武芳2、前田 讓治1、天野 建2 (1.東京理科大、2.産総研)
キーワード：
量子ドット、半導体、レーザ
量子ドット半導体レーザは、活性層にナノサイズの半導体結晶を組み込んだ半導体レーザである。量子ドット構造により、量子ドットの大きさを制御することで発振する光の波長を制御でき、温度依存性が低い特徴がある。温度制御装置が不要となるため、低コスト・低消費電力な信頼性が高いレーザとして将来の応用が期待される。本研究では、量子ドット半導体レーザのALD装置を用いた端面加工について検討する。