講演情報
[15a-K205-3]量子ドット光増幅器端面のALD被覆と評価
〇大坪 祐馬1、奈須 佑貴1、谷口 清人1、伊佐早 祐大1、板谷 太郎2、菅谷 武芳2、前田 讓治1、天野 建2 (1.東京理科大、2.産総研)
キーワード：
量子ドット、原子層堆積
光コパッケージにおいてレーザは光源として利用されている。そのレーザの光を増幅するために光増幅器が利用される。今回我々は量子ドットを用いた半導体光増幅器の製作をし、評価を行った。端面保護に、原子層堆積(ALD: Atomic Layer Deposition)法でAl2O3を20nm成膜して光増幅器とした。