講演情報

[15a-K307-10]六方晶(NH4)xWO3ナノワイヤの酸素アニールによる材料物性変化機構の解明

〇成田 雄紀1、豊島 遼1、内田 建1 (1.東大工)

キーワード:

酸化物半導体、ナノワイヤ

我々はこれまで,酸素アニールにより水熱合成六方晶(NH4)xWO3ナノワイヤのNH4+濃度減少に成功したことで,電子材料として最適な抵抗値を実現した.しかし,六方晶(NH4)xWO3内のNH4+濃度が減少する理由は明らかとされていなかった.本講演では,酸素アニール前のh-WO3内でNH4+とNH3の平衡関係として存在することを示し,材料解析結果からNH4+濃度減少の理由を考察した.