講演情報
[15a-K307-11]ナノレベルの封止構造による有機単分子膜の耐熱性向上に関する研究
〇(M2)三田村 紗江1、根北 翔2、小野 赳1、細見 拓郎1、劉 江洋1、田中 航1、高橋 綱己1、奥山 哲也2、波多 聰2、柳田 剛1,3 (1.東大院工、2.九大総理工、3.九大先導研)
キーワード：
ナノワイヤ、有機・無機複合構造、ALD
本研究は、有機分子の熱安定性を向上させるnm スケールのALD による金属酸化物保護層の形成法を開発し、酸素が熱分解を促進するメカニズムを特定した。空気中300°CやO₂ プラズマ条件下での分子の安定化に成功し、従来法を凌駕する成果を挙げた。特にAl₂O₃ は緻密なアモルファス膜を形成し、酸素遮断による高い耐熱性を示すことが4DSTEM による観察の結果明らかとなった。