[15a-K307-1~11] 9.2 ナノ粒子・ナノワイヤ・ナノシート

9:45 〜 10:00奨励賞エントリー

[15a-K307-3] 一酸化ケイ素の熱処理による球状シリコンナノ結晶の形成と粒径制御

〇(M1)小野 修¹、杉本 泰¹、藤井 稔¹ (1.神戸大院工)

キーワード：

シリコンナノ粒子、Mie共鳴

当研究グループは、一酸化ケイ素をシリコンの融点(1414 ℃)以上で熱処理することで、真球性の高いシリコンナノ結晶作製に成功している。しかし、可視域で発色を示す90-200 nmの粒子の収量が低いという課題がある。本研究では、90-200 nmの収量の増加を目的として、一酸化ケイ素の不均化反応によるナノ結晶形成におけるアニール条件を検討し、熱処理温度と熱処理時間が粒径分布に与える影響を調査した。