[15a-K310-1~8] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

11:15 〜 11:30

[15a-K310-6] Si(111)基板上Al/Geエピタキシャル層からの偏析による極薄Ge形成

〇奥田 太一¹、大田 晃生²、横川 凌^3,4,5、黒澤 昌志¹、坂下 満男¹、中塚 理¹、柴山 茂久¹ (1.名大院工、2.福岡大理、3.広大RISE、4.広大院先進理工、5.明大MREL)

キーワード：

ゲルマニウム、ナノシート、偏析