[15a-K401-1~8] 15.4 III-V族窒化物結晶

9:00 〜 9:15

[15a-K401-1] スパッタ法によるAlGaN/GaN HEMTへの縮退n⁺-GaN(d-GaN)オーミックコンタクト形成プロセスの検討

〇藤澤 海都¹、上野 耕平¹、藤岡 洋¹ (1.東大生研)

キーワード：

縮退、オーミックコンタクト、GaN HEMT