[15a-K401-1~8] 15.4 III-V族窒化物結晶

9:15 〜 9:30奨励賞エントリー

[15a-K401-2] n⁺⁺Al-rich AlGaNオーミックコンタクトを有するスパッタマルチチャネルAl-rich AlGaNナノワイヤトランジスタの開発

〇小坂 鷹生¹、上野 耕平¹、藤岡 洋¹ (1.東大生研)

キーワード：

窒化アルミニウム、トランジスタ、スパッタリング