[15a-K403-1~12] 13.7 化合物及びパワーデバイス・プロセス技術・評価

12:00 〜 12:15奨励賞エントリー

[15a-K403-11] ルチル構造二酸化ゲルマニウム(r-GeO₂)のショットキーバリアダイオード特性

〇清水 悠吏^1,2、大島 孝仁³、衣斐 豊祐^1,4、髙橋 勲¹、金子 健太郎^1,4 (1.Patentix株式会社、2.立命館大理工、3.物材研、4.立命館大学半導体応用研究センター)

キーワード：

ルチル型構造二酸化ゲルマニウム、超ワイドバンドギャップ、パワーデバイス