[15a-K503-1~9] 6.1 強誘電体薄膜

10:00 〜 10:15奨励賞エントリー

[15a-K503-5] AlScN薄膜のITO透明電極上へのエピタキシャル成長と極性のSc量依存性

〇(M1)劉 センコン¹、安部 琴子¹、Yuan Xueyou¹、岡本 一輝²、舟窪 浩²、山田 智明^1,3 (1.名大工、2.東京科学大、3.東京科学大MDX)

キーワード：

窒化アルミニウム、極性