[15a-K503-1~9] 6.1 強誘電体薄膜

11:00 〜 11:15奨励賞エントリー

[15a-K503-9] 転写技術を用いた高次モードSc_0.4Al_0.6N分極反転2層SMR

〇鈴木 菜々海^1,2、下山 航^1,2、柳谷 隆彦^1,2 (1.早大先進理工、2.材料技術研究所)

キーワード：

ScAlN、SMR、分極反転

分極反転多層構造は高次モードで動作するため単層構造と同一の膜厚でより高周波で駆動することができる。
周波数フィルタの帯域や挿入損失は電気機械結合係数k_t²が高いほど有利であり、特に高いk_t²を持つ高Sc濃度のSc_0.4Al_0.6N膜は魅力的である 。
本報告では、Au-Au接合およびエッチングを用いてSc_0.4Al_0.6N薄膜をブラッグ反射器層上に転写し、その上に再びSc_0.4Al_0.6N薄膜を成長させた、新たな分極反転2層構造のSMR型共振子を報告する。