講演情報
[15a-K504-5]半導体ウエハの高分解能キャリア密度分布計測のためのTHz-PMTの特性評価
〇吉長 日向子1、瀧田 佑馬2、河合 直弥1、小野田 浩久1、南出 泰亜2、勝山 広太1、大村 孝幸1 (1.浜ホト、2.理研)
キーワード：
テラヘルツ波、イメージング、半導体
我々はこれまでにテラヘルツ波光電子増倍管（THz-PMT）の優れた非線形応答特性を用いて、シリコンウエハの抵抗率の微小変化を検出することに成功した。本発表では、さらに半導体ウエハの面内キャリア密度分布計測への応用を目指し、THz-PMTを用いて行ったTHz波イメージング実験の結果について報告する。