[15a-K504-1~8] 3.8 テラヘルツ全般

11:00 〜 11:15

[15a-K504-7] 300GHz小型テラヘルツ光源を用いたイメージングシステムの構築とシリコンウエハの評価

〇深澤 亮一¹、高橋 功将¹、梅津 枝里子¹、増田 郁二¹ (1.スペクトルデザイン)

キーワード：

テラヘルツイメージング、半導体シリコン評価