[15a-K507-1~8] 7.2 電子ビーム応用

9:15 〜 9:30

[15a-K507-2] SEMの低エネルギー反射電子像に含まれる物理情報

〇関口 隆史¹、姚 遠昭¹、松石 晃弥¹、栁原 悠人² (1.筑波大数理、2.光産業大)

キーワード：

反射電子、MCP、SEM

我々は、走査電子顕微鏡にバイアスグリッドを付けたMCP(Microchannel Plate)を装着し、ハイパス反射電子(BSE)像を取得し、像の演算よりエネルギー分解した反射電子(BSE)像を得ている。本研究では、低エネルギー反射電子像からどのような情報が読み取れるかを調べた。